排放浓度小于 2.5mg/m³
针对CVD废气,我们采用集尘+三段洗涤的创新处理工艺,成功引入了“三级串联分布处理”新工艺。这一新工艺不仅有效提高了废气处理的效率,显著降低氟化物的排放浓度。欧博abg官网深圳基地经过处理后的废气氟化物排放浓度达到了2.5mg/m³以下,远低于地方标准所规定的9mg/m³。