为了有效降低温室气体的排放，我们积极探索生产工艺的优化，致力于减少特殊气体的使用量，从而控制含氟气体产生。NF₃作为造成温室效应的主要因素之一，其用量在华星所有特殊气体占比中超过20%。为了减少NF₃的耗用，我们通过化学气相沉积（CVD）工艺清洗模具的改进，显著提高了清洁效率，从而有效减少了NF₃的用量。同时，通过安装先进的废气处理设备，对CVD工艺产生的废气进行高效处理，实现了99%以上的NF₃处理效率，确保生产过程中的环境友好性。